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產(chǎn)品功能

提供Single(一批)和Batch(多批)的搬運(yùn)命令

提供一定時(shí)間內(nèi)的取消搬運(yùn)命令

查詢FOUP搬運(yùn)指令

查詢Stocker的實(shí)際存儲(chǔ)資料

產(chǎn)品特點(diǎn)

監(jiān)控下達(dá)搬運(yùn)命令的排隊(duì)數(shù)量，并實(shí)時(shí)告警

記錄MCS回傳的搬運(yùn)命令

提供一個(gè)搬運(yùn)命令跨FAB的功能(對(duì)接兩個(gè)或兩個(gè)以上的MCS)

運(yùn)用效果

nXMS整合底層與MCS溝通的復(fù)雜問(wèn)題，對(duì)外只提供簡(jiǎn)便的接口

監(jiān)控下達(dá)搬運(yùn)命令的排隊(duì)數(shù)量，并實(shí)時(shí)告警，讓User提前快速排查問(wèn)題

查詢FOUP實(shí)際位置

方便外部系統(tǒng)做跨FAB的搬運(yùn)