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產(chǎn)品功能 

1、Parameter 管理: 提供管理各設(shè)備型號(hào)以及設(shè)備參數(shù)的功能 

2、APC Model 管理: 提供提升產(chǎn)線工程師業(yè)務(wù)效率的標(biāo)準(zhǔn)化APC Model建模功能 

3、Formula 管理: 提供靈活的配置功能，使得Formula的建模和管理變得更加便捷 

4、APC 歷史: 提供通過(guò)APC Model運(yùn)算結(jié)果的查詢功能 

5、APC 結(jié)果趨勢(shì): 提供APC參數(shù)運(yùn)算結(jié)果的查詢趨勢(shì)功能 

6、參考 Lot 過(guò)濾: 提供查詢無(wú)法作為參考Lot的過(guò)濾信息的功能 

7、系統(tǒng)信息管理：提供系統(tǒng)管理相關(guān)功能 

8、管理員功能管理：提供管理員相關(guān)功能 

產(chǎn)品特點(diǎn) 

1、結(jié)構(gòu)化的APC模型

 ? 提供標(biāo)準(zhǔn)化建模功能，無(wú)需考慮工藝，可直接管理R2R模型并應(yīng)用 

 ? 如nAPC無(wú)法提供最佳狀態(tài)，則提供多種控制方法，確保工藝流程安全地進(jìn)行 

2、 靈活的 Formula 結(jié)構(gòu)

 ? nAPC提供靈活的建模方案，以配置APC計(jì)算所需的各種Formula 

 ? 可輕松連接建模的Formula組和R2R參數(shù)

 ? 直觀的Formula應(yīng)用情況管理方案 

3. 簡(jiǎn)單便捷的參數(shù)管理 

 ? 通過(guò)簡(jiǎn)單直觀的參數(shù)管理模型，可以便捷地管理各種設(shè)備類型 

4. 提升管理及業(yè)務(wù)效率

 ? 提供便利的管理方法，提升業(yè)務(wù)效率 

運(yùn)用效果（產(chǎn)品效益） 

1. 工藝優(yōu)化提良率

 ? 提升良率，優(yōu)化Litho、CMP等工藝,提高穩(wěn)定性,并提高良率來(lái)增加產(chǎn)量 

2、管理降成本增效 

 ? 減少管理成本提供對(duì)多種設(shè)備、產(chǎn)品、工程的APCModel和Data管理，減少物理、人力資源的使用 

3、自動(dòng)化提高效率縮周期 

 ? 通過(guò)優(yōu)化生產(chǎn)工藝流程提高自動(dòng)化水平，同時(shí)縮短生產(chǎn)周期，提高生產(chǎn)效率