主要用途及適用范圍
主要用途:
1.用于存放光罩盒,并實(shí)時監(jiān)控光罩盒狀態(tài)
2.實(shí)時顯示光罩盒關(guān)聯(lián)wafer Lot信息
適用范圍:適用于半導(dǎo)體晶圓廠實(shí)時追蹤光罩盒狀態(tài)
工作原理
光罩盒放入貨位后,觸發(fā)行程開關(guān)。芯享二號板檢測到開關(guān)觸發(fā)后,發(fā)送指令給建永模塊,啟動天線模組讀取光罩盒上的卡片式標(biāo)簽。讀取到的標(biāo)簽信息返回給芯享二號板,再次轉(zhuǎn)發(fā)到光罩盒管理系統(tǒng)。光罩盒管理系統(tǒng)可查詢每個貨位信息,進(jìn)行光罩盒出庫操作。