主要用途及適用范圍
主要用途:
1.用于存放FOUP,并實時監(jiān)控和上報FOUP狀態(tài)
2.實時顯示FOUP關(guān)聯(lián)wafer Lot信息
適用范圍:
適用于半導(dǎo)體晶圓廠實時追蹤FOUP
工作原理
FOUP正確放入貨位觸發(fā)傳感器,并觸發(fā)天線模組讀取FOUP標(biāo)簽信息,讀取完成后將更新對應(yīng)貨位狀態(tài)并將讀取到的信息傳至電子貨架管理系統(tǒng);其中每個貨位通過控制板并聯(lián),最后經(jīng)通訊轉(zhuǎn)換器連接管理系統(tǒng),實現(xiàn)數(shù)據(jù)傳輸。
產(chǎn)品尺寸及重量
外觀尺寸 (mm)
重量 120KG-150KG